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J-GLOBAL ID：200902212801874001   整理番号：07A1078212

高密度プラズマチャンバ内での継続したスパークの実時間監視

Real-time monitoring of successive sparks in high-density plasma chambers

著者 (4件)： SATO Michio (Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan and Harada Corp., 2-10-14 ...) ,  OHTAKE Hiroto (Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  SUZUKI Koichi (Harada Corp., 2-10-14 Minami-Senba, Chyuo-ku, Osaka, 542-0081, JPN) ,  SAMUKAWA Seiji (Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 25  号： 6  ページ： 1594  発行年： 2007年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電磁場センサおよびオンウエハセンサのような種々の実時間監視シ...

シソーラス用語： *ECRプラズマ ,...

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高密度プラズマ ,  チャンバ ,  継続 ,  スパーク ,  実時間