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J-GLOBAL ID：200902221582031760   整理番号：09A0942730

光検出と検知用途でナノ-テクスチャ加工した金属表面

Nano-textured metallic surfaces for optical sensing and detection applications

著者 (10件)： YOKOTA Yukie (Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ., Kita 21 Nishi 10, CRIS Bldg., Sapporo 001-0021, JPN) ,  UENO Kosei (Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ., Kita 21 Nishi 10, CRIS Bldg., Sapporo 001-0021, JPN) ,  UENO Kosei (PRESTO, Japan Sci. and Technol. Agency, Kawaguchi 332-0012, JPN) ,  JUODKAZIS Saulius (Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ., Kita 21 Nishi 10, CRIS Bldg., Sapporo 001-0021, JPN) ,  MIZEIKIS Vygantas (Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ., Kita 21 Nishi 10, CRIS Bldg., Sapporo 001-0021, JPN) ,  MURAZAWA Naoki (Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ., Kita 21 Nishi 10, CRIS Bldg., Sapporo 001-0021, JPN) ,  MISAWA Hiroaki (Res. Inst. for Electronic Sci., Hokkaido Univ., Kita 21 Nishi 10, CRIS Bldg., Sapporo 001-0021, JPN) ,  KASA Haruya (Photonics Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka ...) ,  KINTAKA Kenji (Photonics Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka ...) ,  NISHII Junji (Photonics Res. Inst., National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka ...)
資料名： Journal of Photochemistry and Photobiology. A. Chemistry  (Journal of Photochemistry and Photobiology. A. Chemistry)
巻： 207  号： 1  ページ： 126-134  発行年： 2009年09月05日 
JST資料番号： D0721B  ISSN： 1010-6030  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では三次元のナノテクスチャ加工したシリコン面構造を金の薄膜で金属化する作製法,また表面Raman散乱(SERS)効果増強を利用した溶質分子の光学検出と検知用途について述べる。二つの型は反応性表面を持つため,異なる方法で作製した。その第一番目はかなり精密な電子ビームリトグラフ(EBL)法を使ってシリコンウェハー表面に小面積の3Dナノブロック格子模様パターンを決めて,次に金スパッタで表面を金属化する乾式反応性イオンエッチング(RIE)で作製した。二番目の型は反応表面を,精密でないが単純な紫外線ホログラフのリトグラフにより,大面積のシリコン表面をナノ口径の正方配列を決め,次には金スパッタと同じく乾式と湿式エッチングの順序で製造した。製造した構造体が著しく強い近接場効果を示し,構造体の明確な3D周期テクスチャが存在し,低濃度10^-9Mピリジン水溶液に浸けたセンサーからの強いSERS信号から証拠づけられた。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *三次元 ,  *ナノ構造 ,  *表面構造 ,  ウエハ【IC】 ,  電子ビームリソグラフィー ,  パターン形成 ,  スパッタリング ,  *金 ,  メタライゼーション ,  ドライエッチング ,  ホログラフィー ,  *表面増強Raman散乱 ,  リソグラフィー ,  *金属薄膜 ,  プラズモン ,  エッチング ,  *光センサ ,  窒素複素環化合物 ,  ウェットエッチング ,  シリコンウエハ ,  *構造
準シソーラス用語： ホログラフィックリソグラフィー

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル一般  (BM08061U) ,  計測機器一般  (AD02000X)

物質索引 (1件)： ピリジン

タイトルに関連する用語 (4件)： 光検出 ,  用途 ,  テクスチャ ,  金属表面