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J-GLOBAL ID：200902222245657530   整理番号：09A1052768

全域通過フィルタを用いたフィードバック補償による共振モードのロバスト制振制御

Robust Vibration Suppression of Resonant Modes by Feedback Compensation Realized Using Allpass Filters

著者 (4件)： 廣瀬徳晃 (名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻) ,  岩崎誠 (名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻) ,  川福基裕 (名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻) ,  平井洋武 (名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻)
資料名： 電気学会論文誌 D  (IEEJ Transactions on Industry Applications)
巻： 129  号： 10  ページ： 981-988 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： X0451A  ISSN： 0913-6339  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,携帯・情報機器の小型化・高性能化は目覚しく,その生産設備に対するモーションコントロール技術の高性能化は必須である。特に共振モードを有する制御対象に対しては,共振周波数変動を伴う位置決め動作等において共振振動を励起・増大させないことが求められる。その実現には,ロバスト安定性の確保と共振周波数付近での低感度化が有望である。共振モードの安定化には,位相安定化による方法があり,低感度化も同時に実現可能であるが,時間特性に依存する場合,全ての共振モードに対して位相安定化を実現することは難しい。そこで,本論文では共振モードの位相関係やむだ時間特性に依存することなく,共振モードの低感度化を実現する手法を提案する。提案法は,従来のノッチフィルタに代えて,2次全域通過フィルタをフィードバック補償に加える手法であり,共振モードのゲインを減衰させることなく,共振モード近傍において所望の位相特性を実現できる。提案手法のサーボ系を構成し,供試位置決め装置による共振変動時の位置決め応答,単位インパルス外乱応答,繰り返し位置決め動作などによって検証を行った。その結果から,従来法であるノッチフィルタと比較しても有効性が実証された。また,2次全域通過フィルタの設計パラメータは2つであるため設計は簡便であり,実用性も高いと考えられる。

シソーラス用語： *防振 ,  振動制御 ,  フィードバック ,  運動制御 ,  ロバスト性 ,  *全域通過フィルタ ,  *制御 ,  振動モード ,  *サーボ系
準シソーラス用語： *位置決め制御 ,  共振モード

分類 (1件)： サーボ機構  (IC03030Q)

引用文献 (31件)：

• (1) 大前 力・平井洋武・涌井伸二: 「情報システムにおける制御」, コロナ社 (1999)
• (2) 山口高司・平田光男・藤本博志: 「ナノスケールサーボ制御 高速・高精度に位置を決める技術」, 東京電機大学出版局 (2007)
• (3) T. Kidokoro, M. Hirata, and S. Ueda: “Nanoscale Servo Control for Galvano Scanner Using Final-State Control”, Proc. of IIC 2008, IIC-08-168, pp. 43-48 (2008) (in Japanese)
• 城所隆弘・平田光男・上田伸治: 「終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御」, 電学産業計測制御研資, IIC-08-168, pp. 43-48 (2008)
• (4) N. Hirose, M. Kawafuku, M. Iwasaki, and H. Hirai: “Feedforward Compensation by Specified Step Settling Considering Frequency Shaping of Control Input”, T. IEE Japan, Vol. 128-D, No. 12, pp. 1403-1410 (2008-12) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (6件)： 全域通過フィルタ ,  フィードバック ,  補償 ,  共振モード ,  ロバスト ,  制振制御