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J-GLOBAL ID:200902224662222388   整理番号:08A0865784

HfO2/Geゲートスタック構造のゲルマニウム表面のフッ素処理による特性改善

Characteristics improvement of HfO2/Ge gate stack structure by fluorine treatment of germanium surface
著者 (4件):
資料名:
巻: 254  号: 21  ページ: 6932-6936  発行年: 2008年08月30日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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フッ素分子(F2)-ゲルマニウム(Ge)表面の化学反応性とフッ素(F)-ゲルマニウム(Ge)結合の解離をシミュレ-トしGe表面上のFは水素に比し,より安定であることを示した。GeのMIS(金属絶縁体半導体)キャパシタを,F2処理したGe(100)基板と光支援MOCVDで蒸着されたHfO2膜を用いて作製した。HfO2/GeゲートスタックのC-V曲線のこぶとして観測された界面状態密度とそのC-V履歴はGe表面のF2処理により減少した。XPS(X線光電子分光)深さプロファイルは,HfO2とGeの界面はサブオキサイド層(GeOxあるいはHfGeOx)でこれが界面状態密度の起源と信じられることを明らかにした。Fは,F2処理したGe基板を用いれば容易に界面層に入れ込めた。これらの結果はHfO2/Geゲートスタック構造の界面欠陥がFにより効果的に安定化可能であることを示した。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
金属-絶縁体-半導体構造  ,  酸化物薄膜 

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