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J-GLOBAL ID：200902228090816228   整理番号：06A0602578

厚いダイヤモンド合成向けマイクロ波プラズマ化学蒸着装置の数値解析

Numerical analyses of a microwave plasma chemical vapor deposition reactor for thick diamond syntheses

著者 (5件)： YAMADA H. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA A. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  MOKUNO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SHIKATA S. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 9  ページ： 1389-1394  発行年： 2006年09月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚いダイヤモンド合成向け装置内部でのマイクロ波プラズマのシミ...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： パワー密度

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド ,  マイクロ波プラズマ化学蒸着 ,  数値解析