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J-GLOBAL ID：200902230659932552   整理番号：09A0477247

欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法

A Rotational Registration Method by Using Local Consistency of Point Dispersion Considering Defect Types

著者 (7件)： 浦野貴裕 (日立製作所生産技術研究所) ,  金子俊一 (北海道大学大学院 情報科学研究科 システム制御情報学研究室) ,  高氏秀則 (北海道大学大学院 情報科学研究科 システム制御情報学研究室) ,  田中孝之 (北海道大学大学院 情報科学研究科 システム制御情報学研究室) ,  前田俊二 (日立製作所生産技術研究所) ,  渋谷久恵 (日立製作所生産技術研究所) ,  吉田実 (日立製作所生産技術研究所)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 129  号： 5  ページ： 778-785 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： HDD等のディスク状記憶媒体の欠陥解析・分類を行う評価法として,欠陥種を考慮に入れたLCPDによる点群照合状態の評価方式と欠陥データ点群の回転照合,角度推定の方式を提案した。個々の欠陥点に欠陥種別に基づく新たな重み係数を導入し,評価を行うことにより,異欠陥種による誤対応を判断することが可能になった。その結果,収束状態での欠陥対応付け精度が向上し,非収束状態における極小解の軽減が可能となり,欠陥の発生や消滅が少なく照合に有利と考えられる欠陥種を重みづけパラメータ設定により積極使用することで高精度な照合を実現した。実生産において観察欠陥点の座標特定に要する時間コスト低減を実現できる等欠陥検査の高速化高精度化に貢献できることを確認した。

シソーラス用語： 欠陥検査 ,  *磁気ディスク ,  *故障解析 ,  DVD【ディスク】 ,  *位置決め ,  回転角 ,  ロバスト推定 ,  *パターンマッチング ,  評価関数 ,  収束 ,  欠陥密度 ,  記録密度 ,  記憶容量

分類 (2件)： 記憶装置  (JC04060F) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (14件)：

• 斎藤温. コンシューマ向けHDDのトレンドとそれを支える技術. 日立評論. 2006, 3, 13-16
• 鈴木良. HDD技術の進歩とその応用展開. 映像情報メディア学会誌. 2006, 60, 1, 9-11
• 加藤良則. 高容量磁気ディスク用アルミニウム基盤の開発と将来展望. KOBE STEEL ENGINEERING REPORTS. 2000, 50, 3, 50-53
• 岩田哲也. メディア上欠陥の光学式検査装置による解析. IDEMA NEWS. 2001, 6, 42, 12-17
• ROUSSEEUW, P. J. Robust Regression and Outlier Detection, Wiley Series in Probability and Mathematical Statistics. 1987

タイトルに関連する用語 (2件)： 欠陥 ,  パタン