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J-GLOBAL ID：200902232452042630   整理番号：06A0065765

LIGAプロセスを用いた巻き線型マイクロコイルの製造

Fabrication of Spiral Micro-Coil Utilizing LIGA Process

著者 (7件)： SHIMADA Osamu (SUSUMU Co., LTD., Kyoto, JPN) ,  KUSUMI Shinji (SUSUMU Co., LTD., Kyoto, JPN) ,  MEKARU Harutaka (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  SATO Noriaki (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  SHIMIZU Masami (Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  YAMASHITA Michiru (Hyogo Prefectural Inst. of Technol., Kobe, JPN) ,  HATTORI Tadashi (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名： JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers)  (JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers))
巻： 49  号： 1  ページ： 74-78  発行年： 2006年01月15日 
JST資料番号： G0026B  ISSN： 1344-7912  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型で高性能の電子部品を得るため,LIGAプロセスを用いた3...

シソーラス用語： *微細加工 ,...
準シソーラス用語： LIGAプロセス

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• BECKER, E. W. Fabrication of Microstructures with High Aspect Ratios and Great Structural Heights by Synchrotron Radiation Lithography, Galvanoforming, and Plastic Moulding. Microelectron. Eng. 1986, 4, Issue 1, 35-42
• NAGAOKA, H. Inductance of Circular Solenoidal Current Sheet. J. College of Science, Tokyo. 1909, 27, Art. 6, 18-33
• MEKARU, H. Beamline BL11 for LIGA Process at the NewSUBARU. Nucl. Instrum. and Methods A. 2001, 467-468, Part 1, 741-744
• ANDO, A. Isochronous Storage Ring of the NewSUBARU Project. J. Synchrotron Rad. 1998, 5, Part 3, 342-344
• MEKARU, H. Fabrication of Mold Master for Spiral Micro-Coil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation. Jpn. J. Appl. Phys., B. 2004, 436, 4036-4040

タイトルに関連する用語 (3件)： LIGAプロセス ,  巻き線 ,  マイクロコイル