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J-GLOBAL ID：200902233007916805   整理番号：05A1021580

光触針式輪郭測定における傾斜測定誤差の補正法

A Practical Method for Compensating Surface Inclination Effect on Optical Stylus Profile Measurement

著者 (3件)： 深津拡也 (東京都工高専) ,  三須清孝 (日揮) ,  柳和久 (長岡技科大)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 71  号： 5  ページ： 590-594  発行年： 2005年05月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 加工表面の非接触測定のために多くの光学式輪郭測定法が提案され...

シソーラス用語： *光学的測定 ,...
準シソーラス用語： 光触針 ,...

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分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (9件)：

• 平林晃. 帯域通過型標本化定理を用いた白色干渉による表面凹凸形状の高速測定. 計測自動制御学会論文集. 2000, 36, 1, 16
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• YANG, Chunlan. Diffraction Analysis and Evaluation of a Focus-error Detection Scheme for an Optical Profilometer. Proc. SPIE. 2000, 4221, 180
• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103

タイトルに関連する用語 (4件)： 触針 ,  輪郭 ,  測定誤差 ,  補正法