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J-GLOBAL ID：200902233139412571   整理番号：09A0713531

マイクロ機械共振器のQ値の評価方法

Evaluation Method of the Quality Factor of Micromechanical Resonators Using Electron Beams

著者 (3件)： ASHIBA Hiroki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  WARISAWA Shin’ichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHIHARA Sunao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 6,Issue 2  ページ： 06FG08.1-06FG08.5  発行年： 2009年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 振動特性を評価するために電子ビームの適用を検討した。二次電子強度と機械共振器の振幅の関係は今まで明確にされていない。この研究では,電子ビーム法を用いて振幅とQ値を評価するための関係を調べた。信号強度から振幅を推定する式を,二次電子信号をパルス波としてモデル化することによって作った。信号強度の振幅への変換によってQ値を求めることができる。そして,電子ビーム法を用いて推定したマイクロカンチレバーの振幅を走査電子顕微鏡から直接求めた値と比較する実験を行った。推定値と直接測定した振幅は良く一致し,また両振幅から求めたQ値も良く一致した。これより著者らは,電子ビーム法によって機械共振器のQ値を確実に求めることができると結論する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *Q値 ,  *共振器 ,  電子ビーム ,  二次電子放出 ,  強度 ,  振幅 ,  *片持梁 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： *マイクロカンチレバー ,  機械共振器

分類 (1件)： 振動一般  (BB02010D)

引用文献 (14件)：

• K. L. Ekinci and M. L. Roukes: Rev. Sci. Instrum.76(2005)061101.
• V. Cimalla, F. Niebelschütz, K. Tonisch, Ch. Foerster, K. Brueckner, I. Cimalla, T. Friedrich, J. Pezoldt, R. Stephan, M. Hein, and O. Ambacher: Sens. Actuators B 126(2007)24.
• M. Li, H. X. Tang, and M. L. Roukes: Nat. Nanotechnol.2(2007)114.
• Y. T. Yang, C. Callegari, X. L. Feng, K. L. Ekinci, and M. L. Roukes: Nano Lett.6(2006)583.
• S. Bianco, M. Cocuzza, S. Ferrero, E. Giuri, G. Piacenza, C. F. Pirri, A. Ricci, L. Scaltrito, D. Bich, A. Merialdo, P. Schina, and R. Correale: J. Vac. Sci. Technol. B 24(2006)1803.

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ ,  機械共振器 ,  Q値 ,  評価方法