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J-GLOBAL ID：200902233362066235   整理番号：08A0146568

多孔質TiO₂マイクロ線の利用によるSiウエハ表面の有機分子層の光触媒加工

Photocatalytic machining of organic molecular layer on a Si wafer surface by use of a porous TiO₂ micro wire

著者 (6件)： SONE Yoshiaki (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Industrial Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Sci.) ,  OHGAKI Takeshi (National Inst. for Materials Sci. (NIMS)) ,  KISHI Tetsuo (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Industrial Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Sci.) ,  NISHIO Keishi (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Industrial Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Sci.) ,  MATSUMOTO Mutsuyoshi (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Industrial Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Sci.) ,  YASUMORI Atsuo (Dep. of Materials Sci. and Technol., Fac. of Industrial Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Sci.)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 116  号： 1350  ページ： 341-344 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 1882-0743  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 相分離と選択浸出プロセスによって調製された多孔性TiO<su...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...

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分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： オクタデシルトリクロロシラン

引用文献 (21件)：

• 1) C. S. Dulcey, J. H. Georger, V. Krauthamer, D. A. Stenger, T. L. Fare and J. M. Calvert, Science, 252, 551-554 (1991).
• 2) H. Sugimura and N. Nakagiri, Jpn. J. Appl. Phys., 36, L968-970 (1997).
• 3) M. Heule, U. P. Schonholzer and L. J. Gauckler, J. Eur. Ceram. Soc., 24, 2733-2739 (2004).
• 4) Y. Masuda, W. Seo and K. Koumoto, Solid State Ionics., 172, 283-288 (2004).
• 5) R. M. Crooks and A. J. Ricco, Acc. Chem. Res., 31, 219-227 (1998).

タイトルに関連する用語 (5件)： 多孔質 ,  TiO2 ,  Siウエハ ,  有機分子 ,  光触媒