文献

J-GLOBAL ID：200902234443557400   整理番号：08A0646210

二重レーザパルス照射した純錫微液滴による効率的且つ最小質量の極端紫外光源の作製

Pure-tin microdroplets irradiated with double laser pulses for efficient and minimum-mass extreme-ultraviolet light source production

著者 (14件)： FUJIOKA Shinsuke (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  SHIMOMURA Masashi (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  SHIMADA Yoshinori (Inst. for Laser Technol., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  MAEDA Shinsuke (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  SAKAGUCHI Hirokazu (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  NAKAI Yuki (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  AOTA Tatsuya (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  NISHIMURA Hiroaki (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  OZAKI Norimasa (Graduate School of Engineering, Osaka Univ., Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  SUNAHARA Atsushi (Inst. for Laser Technol., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  NISHIHARA Katsunobu (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  MIYANAGA Noriaki (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  IZAWA Yasukazu (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan) ,  MIMA Kunioki (Inst. of Laser Engineering, Osaka Univ., 2-6 Yamada-Oka, Suita, Osaka, 565-0871 Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 92  号： 24  ページ： 241502  発行年： 2008年06月16日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 純錫微液滴のレーザ駆動膨張により効率的且つ低デブリの極端紫外光源を実証した。極必要な極端紫外線放射エネルギー(~10mJ/pulse)を発生させるために,最小質量のSn燃料を含む微液滴の直径(~20μm)と最適レーザスポット直径(~300μm)の間の少なからぬ不整合を解決するためには予備膨張が不可欠である。強度が少なくとも3×10¹¹W/cm²のレーザ予備パルスを用いて微液滴の爆発的に膨張させた。爆発した微液滴にCO₂レーザを照射して極端紫外線を発生させた。膨張した微液滴の低密度と長スケールの長さを組合せて,単一CO₂レーザパルスを照射した平面Snターゲットで得られるエネルギー変換効率(2.5%)よりも高いエネルギー変換効率4%を得た。本方式を用いて実用的極端紫外光源装置を製作できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *極端紫外線 ,  光源 ,  エネルギー変換効率 ,  熱膨張 ,  液滴 ,  レーザパルス ,  スズ ,  *フォトリソグラフィー ,  *パルスレーザ照射
準シソーラス用語： 微液滴 ,  錫

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ ,  パルス照射 ,  錫 ,  液滴 ,  質量 ,  極端紫外光源 ,  作製