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J-GLOBAL ID：200902236128464528   整理番号：05A0996461

28GHzマイクロ波照射により結晶化したゾル-ゲル堆積のジルコン酸鉛チタンの電気的性質と微細構造

Electrical Properties and Microstructures of Sol-Gel-Deposited Lead Zirconate Titanate Thin Films Crystallized by 28 GHz Microwave Irradiation

著者 (5件)： WANG Zhan Jie (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOKAWA Hiroyuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TAKIZAWA Hirotsugu (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ICHIKI Masaaki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA Ryutaro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 9B  ページ： 6914-6917  発行年： 2005年09月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法によりPt/Ti/SiO₂...

シソーラス用語： ゾル-ゲル法 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (24件)：

• 1) O. Auciello, J. F. Scott and R. Ramesh: Phys. Today 51 (1998) 22.
• 2) D. L. Polla and L. F. Francis: Mater. Res. Soc. Bull. 21 (1996) 59.
• 3) J. Chu, Z. Wang, R. Maeda, K. Kataoka, T. Itoh and T. Suga: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>18</B> (2000) 3604.
• 4) J. Tsaur, Z. J. Wang, L. Zhang, M. Ichiki, J. W. Wan and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 6664.
• 5) E. Cattan, G. Velu, B. Jaber, D. Remiens and B. Thierry: Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 1718.

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ波照射 ,  結晶化 ,  ゾル-ゲル ,  堆積 ,  ジルコン酸鉛 ,  チタン ,  電気的性質 ,  微細構造