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J-GLOBAL ID：200902239361922390   整理番号：08A1120190

集束イオンビームにより作製した電子光学系輸帯瞳の高速散乱電子抑制化

Formation of High-energy Electron Scattering Suppressible Annular Pupils for Electron Optics by Focused Ion Beam Technique

著者 (12件)： 松谷貴臣 (近畿大) ,  田屋昌樹 (大阪電通大) ,  生田孝 (大阪電通大) ,  藤村哲也 (大阪産業大) ,  乾裕彦 (大阪産業大) ,  田中武雄 (大阪産業大) ,  志水一平 (大阪産業振興機構) ,  木村吉秀 (大阪大 大学院工学研究科) ,  高井義造 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川崎忠寛 (名古屋大) ,  市橋幹雄 (名古屋大) ,  大江俊美 (名城大)
資料名： プラズマ応用と複合機能材料  (Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻： 17  ページ： 81-82  発行年： 2008年03月 
JST資料番号： L6242A  ISSN： 1340-9557  CODEN： POFZFU  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査型透過電子顕微鏡において焦点深度を深くし,収差のない結像および位相像と振幅像の分離を実現するために,電子光学系で高エネルギー電子散乱を抑制できる輪帯瞳を集束イオンビーム技術により開発した。一般的に電子照射方向と平行な壁面を存する開口では壁面衝突により高速散乱電子が発生する可能性がある。これがコントラスト低下の原因となる。ここでは,計算機支援設計システムと計算機制御された電子光学系が融合した集束イオンビーム技術を用いて輪帯溝壁面にテーパを持つ加工精度の高い輪帯照明用アパーチャを試作し,その形状について評価した。

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  *電子光学 ,  *開口 ,  電子衝突 ,  テーパ構造 ,  集束イオンビーム
準シソーラス用語： 結像特性 ,  壁面衝突

分類 (1件)： 電子レンズ,電子エネルギー分析器  (BD02040Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 集束イオンビーム ,  作製 ,  電子光学 ,  瞳 ,  散乱 ,  電子