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J-GLOBAL ID：200902239764556849   整理番号：06A0509953

窒素を添加したマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンドの高速ホモエピタキシャル成長

High rate homoepitaxial growth of diamond by microwave plasma CVD with nitrogen addition

著者 (6件)： MOKUNO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA A. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SODA Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  YAMADA H. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  FUJIMORI N. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 4-8  ページ： 455-459  発行年： 2006年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素を添加したマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンドの高...

シソーラス用語： エピタクシー ,...
準シソーラス用語： *エピタキシャル成長 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒素 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  ダイヤモンド ,  ホモ ,  エピタキシャル成長