(Ba0.6Sr0.4)TiO3/Au/Cr/(Ba0.6Sr0.4)TiO3サンドイッチ構造の共面導波路で構成されたマイクロ波可変同調デバイス

NODA Minoru; NODA Minoru; WATANABE Shigeyuki; SEKI Kousuke; KANASHIMA Takeshi; OKUYAMA Masanori

文献

J-GLOBAL ID：200902241186443534 整理番号：08A0996377

(Ba_0.6Sr_0.4)TiO₃/Au/Cr/(Ba_0.6Sr_0.4)TiO₃サンドイッチ構造の共面導波路で構成されたマイクロ波可変同調デバイス

Microwave Tunable Devices Composed of Coplanar Waveguide Line with (Ba_0.6,Sr_0.4)TiO₃/Au/Cr/(Ba_0.6,Sr_0.4)TiO₃ Sandwich Structure

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資料名：
巻： 47 号： 9 Issue 2 ページ： 7500-7504 発行年： 2008年09月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

マイクロ波可変同調デバイスとして新規共面導波路の(Ba,Sr)TiO₃/Au/Cr/(Ba,Sr)TiO₃サンドイッチ構造を設計,製作した。有機金属堆積(MOD)により(100)MgO基板上に(Ba,Sr)TiO₃(BST)(60/40)薄膜を作製した。サンドイッチ構造(上部BATの膜厚,600nm)にすることにより1MHzでの同調率は10.4から13.3%に増加したが,この構造の誘電損失は0.006であった。このサンドイッチ構造と通常のBST単相膜の共面導波(CPW)可変同調伝送線路のマイクロ波伝搬特性を評価した。挿入損失が5.5dBのこのサンドイッチ構造(上部BST膜厚600nm,CPW線路の間隔5μm,及び長さ2500μm)でdcバイアス電圧を0から30Vにすると,30GHzで微分位相シフトが4.4から16°に増加した。20GHzでの性能指数は単層膜(1.0°/dB)からサンドイッチ構造(2.9°/dB)で向上した。最終的にこのサンドイッチ構造はマイクロ波可変同調デバイスの特性を向上させる良い候補であることを確認した。(翻訳著者抄録)

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 伝送線

引用文献 (12件)：

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