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J-GLOBAL ID：200902246005965900   整理番号：08A0424926

R-SPE法によるScAlMgO₄単結晶薄膜の作製とZnO格子整合バッファ層への応用

著者 (11件)： 片瀬貴義 (東京工大 応用セラミックス研) ,  野村研二 (科学技術振興機構) ,  太田裕道 (科学技術振興機構) ,  柳博 (東京工大 応用セラミックス研) ,  神谷利夫 (東京工大 応用セラミックス研) ,  神谷利夫 (科学技術振興機構) ,  平野正浩 (科学技術振興機構) ,  平野正浩 (東京工大 フロンティア創造共同研セ) ,  細野秀雄 (東京工大 応用セラミックス研) ,  細野秀雄 (科学技術振興機構) ,  細野秀雄 (東京工大 フロンティア創造共同研セ)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th  号： 1  ページ： 559  発行年： 2008年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  バッファ層 ,  *エピタクシー ,  レーザ蒸着 ,  スカンジウム化合物 ,  アルミニウム化合物 ,  マグネシウム化合物 ,  酸化物 ,  単結晶 ,  *酸化亜鉛 ,  基板 ,  セラミック ,  酸化イットリウム ,  酸化ジルコニウム ,  反応性 ,  格子整合 ,  結晶度 ,  X線回折 ,  高分解能 ,  顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  Hall効果 ,  パルスレーザ蒸着 ,  YSZ【セラミック】 ,  *固相エピタキシー
準シソーラス用語： PLD法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： SPE ,  単結晶薄膜 ,  作製 ,  ZnO ,  格子整合 ,  バッファ層 ,  応用