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J-GLOBAL ID：200902246609622793   整理番号：06A0065736

FEA制御のためのポリシリコンTFTの構造最適化

Optimization of poly-Si TFT for controlling field emitter arrays

著者 (6件)： 安室千晃 (産業技術総合研) ,  坂村祐一 (産業技術総合研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  田上尚男 (産業技術総合研) ,  金丸正剛 (産業技術総合研) ,  伊藤順司 (産業技術総合研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 105  号： 498(ED2005 182-191)  ページ： 21-26  発行年： 2005年12月15日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は,HfC被覆を施したシリコンフィールドエミッタアレイ(...

シソーラス用語： *電界放出アレイ ,...
準シソーラス用語： シリコン ,...

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分類 (2件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

引用文献 (8件)：

• HIRANO, T. Fabrication of a New Si Field Emitter Tip with Metal-Oxide- Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) Structure. Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, B. 1996, 35, 12, 6637-6640
• NAGAO, M. Fabrication of Si field emitter array integrated with MOSFET driving circuits. J. Vac. Sci. & Technol. B. 2002, 20, 6, 2309-2313
• 長尾昌善. ポリシリコンTFT一体型HfCフィールドエミッタアレイ. 信学技報. 2004, ED2004-191, 51-56
• VALDINOCI, M. Floating body effects in polysilicon thin-film transistors. IEEE Trans. Electron Devices. 1997, 44, 2234-2240
• GAMO, H. A field emitter array with an amorphous silicon thin-film transistor on glass. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 1301

タイトルに関連する用語 (4件)： FEA ,  ポリシリコン ,  TFT ,  構造最適化