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J-GLOBAL ID：200902251325260895   整理番号：03A0707670

大気圧以上の高圧力下でのプラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成

High-Rate Synthesis of Diamond by Plasma CVD under Higher Pressure than Atmospheric Pressure

著者 (5件)： 豊田洋通 (愛媛大 工) ,  井出たかし (愛媛大 工) ,  八木秀次 (愛媛大 工) ,  垣内弘章 (大阪大 大学院工学研究科) ,  森勇蔵 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69  号： 10  ページ： 1444-1448  発行年： 2003年10月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,ダイヤモンドの気相合成による高速形成法に関する研究が,...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： 担体 ,...

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分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (4件)：

• 犬塚直夫. ダイヤモンド薄膜-非平衡状態からの出発. 1990, 7
• MITSUDA, Yoshitaka. Development of a new microwave plasma torch and its application to diamond synthesis. Rev. Sci. Instrum. 1989, 60, 2, 249
• YAGI, Hidetsugu. Generation of Microwave Plasma under High Pressure and Synthesis of Diamond. Transactions of the Material Research Society of Japan. 2000, 25, 1, 313
• 犬塚直夫. ダイヤモンド薄膜-非平衡状態からの出発. 1990, 44

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧 ,  高圧力 ,  プラズマCVD ,  ダイヤモンド