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J-GLOBAL ID：200902252032568395   整理番号：05A0518914

DLC薄膜の特性に及ぼす電子温度の影響

Effect of electron temperature on the DLC film properties

著者 (5件)： IKENAGA Noriaki (Japan Sci. and Technol. Corp., Ishikawa, JPN) ,  AWAZU Kaoru (Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  SAKUDO Noriyuki (Kanazawa Inst. of Technol., Ishikawa, JPN) ,  YASUI Haruyuki (Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  KAWABATA Takeshi (Japan Sci. and Technol. Corp., Ishikawa, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 196  号： 1/3  ページ： 226-230  発行年： 2005年06月22日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 応用上重要な硬度や摩擦係数などの特性の向上を目的として,DL...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (2件)： DLC薄膜 ,  電子温度