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J-GLOBAL ID：200902252981229038   整理番号：05A0905239

反射偏光解析法に基づく透明基板上の膜厚の測定 I 高屈折率の付加層の光学的効果

Thickness measurements on transparent substrates based on reflection ellipsometry. I. Optical effects of high-refractive-index additional layers.
著者 (4件)：
OTSUKI Soichi

OTSUKI Soichi について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Takamatsu, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Takamatsu, JPN について

, 
OHTA Koji

OHTA Koji について

(Photonics Res. Inst., AIST, Osaka, JPN)

Photonics Res. Inst., AIST, Osaka, JPN について

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TAMADA Kaoru

TAMADA Kaoru について

(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN)

Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN について

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WAKIDA Shin-ichi

WAKIDA Shin-ichi について

(Human Stress Signal Res. Center, AIST, Osaka, JPN)

Human Stress Signal Res. Center, AIST, Osaka, JPN について


資料名：
Applied Optics  (Applied Optics)

Applied Optics について


巻： 44  号： 28  ページ： 5910-5918  発行年： 2005年10月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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偏光解析法は,透明基板などの表面性状を調べる上で重要なツール...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*偏光解析法

偏光解析法 について

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分類 (1件)：
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偏光測定と偏光計 
(BD07050K)

偏光測定と偏光計 について

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偏光解析法

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透明基板

透明基板 について

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膜厚

膜厚 について

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高屈折率

高屈折率 について

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光学

光学 について


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