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J-GLOBAL ID：200902253866845783   整理番号：06A0602577

限定厚さのダイヤモンド基板表面に集中したマイクロ波プラズマのシミュレーション

Simulation of microwave plasmas concentrated on the top surface of a diamond substrate with finite thickness

著者 (5件)： YAMADA Hideaki (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA Akiyoshi (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  MOKUNO Yoshiaki (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Yuji (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SHIKATA Shinichi (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 9  ページ： 1383-1388  発行年： 2006年09月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンドの化学蒸着のために,マイクロ波プラズマ放電の安定...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 厚さ ,  ダイヤモンド ,  基板表面 ,  マイクロ波プラズマ ,  シミュレーション