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J-GLOBAL ID：200902257288233376   整理番号：09A0420690

メタルマスク法による選択領域量子ドット成長時のマスク放射熱の影響

著者 (7件)： 尾崎信彦 (筑波大 先端学際領域研セ) ,  大河内俊介 (筑波大 先端学際領域研セ) ,  大河内俊介 (NEC) ,  杉本喜正 (NIMS) ,  池田直樹 (NIMS) ,  渡辺慶規 (筑波大 先端学際領域研セ) ,  浅川潔 (NIMS)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 56th  号： 1  ページ： 360  発行年： 2009年03月30日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 選択成長 ,  *量子ドット ,  *マスク ,  *放射熱伝達 ,  サーモグラフィー ,  *温度分布 ,  開口
準シソーラス用語： 赤外線サーモグラフィー ,  領域選択成長

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (5件)： メタルマスク ,  量子ドット ,  成長 ,  マスク ,  放射熱