文献

J-GLOBAL ID：200902263901427430   整理番号：06A0602579

扱いやすいプラズマ記述を用いてのマイクロ波プラズマの電力吸収とガス圧依存性の数値解析

Numerical analysis of power absorption and gas pressure dependence of microwave plasma using a tractable plasma description

著者 (6件)： YAMADA Hideaki (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA Akiyoshi (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  MOKUNO Yoshiaki (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SODA Yousuke (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Yuji (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  FUJIMORI Naoji (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 15  号： 9  ページ： 1395-1399  発行年： 2006年09月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 扱いやすいプラズマ記述を用いて,多様な運転条件下でマイクロ波...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0602579&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=W0498A") }}

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  記述 ,  マイクロ波プラズマ ,  ガス圧 ,  依存性 ,  数値解析