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J-GLOBAL ID：200902264209842210   整理番号：04A0569031

RFバーストプラズマにおけるアフタグロー領域中のプラズマ密度の電圧-電流特性による評価

Estimation of plasma density in after-glow region of RF burst plasma based on voltage-current characteristics

著者 (4件)： WATANABE S (Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN) ,  TANAKA T (Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN) ,  TAKAGI T (Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN) ,  YUKIMURA K (Doshisha Univ., Kyotanabe, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 186  号： 1/2  ページ： 53-56  発行年： 2004年08月02日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマイオン注入法(PBII)は表面改質法として注目されて...

シソーラス用語： イオン注入 ,...
準シソーラス用語： プラズマイオン注入

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分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  放射線による構造と物性の変化一般  (BK16121W)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  バースト ,  プラズマ ,  アフタグロー ,  プラズマ密度 ,  評価