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J-GLOBAL ID：200902264584225970   整理番号：05A0936121

RIEを用いた単結晶シリコン加工面クラックの新しい検出法

A New Detecting Method of Micro Cracks on Machined Surface of Monocrystalline Silicon by Using RIE
著者 (3件)：
横溝精一

横溝精一 について

(岡山県工技セ)

岡山県工技セ について

, 
窪田真一郎

窪田真一郎 について

(岡山県工技セ)

岡山県工技セ について

, 
宇野義幸

宇野義幸 について

(岡山大 工)

岡山大 工 について


資料名：
精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)

精密工学会誌(CD-ROM) について


巻： 71  号： 10  ページ： 1291-1295  発行年： 2005年10月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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単結晶シリコンに加工を施した後のマイクロクラックの検出法とし...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ケイ素

ケイ素 について

,...
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス材料 
(NC03020K)

固体デバイス材料 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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RIE

RIE について

, 
単結晶シリコン

単結晶シリコン について

, 
加工面

加工面 について

, 
クラック

クラック について

, 
検出法

検出法 について


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