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J-GLOBAL ID：200902269793386193   整理番号：09A0060569

対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル

Drawing out metallic ions from confrontation-electrode type-High Power Pulse Sputter(HPPS) glow discharge and emission spectra on the sample holder.

著者 (5件)： 三枝亮介 (同志社大) ,  行村建 (同志社大) ,  東欣吾 (兵庫県大) ,  玉垣浩 (神戸製鋼所) ,  沖本忠雄 (神戸製鋼所)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-08  号： 98-114.116-120  ページ： 111-116  発行年： 2008年12月20日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ドロップレットフリーの金属プラズマ源を提案した。対向したチタン陰極板に負極性のパルス電圧を印加し,生成したアルゴンプラズマでチタンをスパッタさせてチタン原子あるいはチタンイオンを取り出す。ドロップレットフリーのグロープラズマを生成したときの電気特性を調べ,電力,消費エネルギーを計算した。また分光器を用いて発光スペクトルを観測し,強度の時間的変化を調べた。サンプルホルダに負極性の電圧を印加したときのイオン密度及びイオン電流の測定もした。発光スペクトル解析ではTiI及びTiIIを検出することができ,陰極材料のチタンのイオン化を確認した。

シソーラス用語： *プラズマ源 ,  プラズマ生成 ,  グロー放電 ,  パルス放電 ,  アルゴン ,  電極材料 ,  チタン ,  プラズマ分光 ,  電気特性 ,  可視発光スペクトル ,  紫外発光スペクトル ,  原子スペクトル ,  イオン密度 ,  イオン電流 ,  電力 ,  エネルギー消費 ,  スペクトル線強度 ,  経時変化 ,  イオンさや
準シソーラス用語： プラズマスパッタリング ,  *金属プラズマ源 ,  Penning放電

分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

引用文献 (5件)：

• 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会:「プラズマイオンプロセスとその応用」, オーム社, pp. 131-148(2005).
• K. Nakamura, H. Yoshinaga, K. Yukimura,: “Droplet-free high-density metal ion source for plasma immersion ion implantation”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, Vol.242, pp. 315-317(2006)
• Johan Bohlmark: “Fundamentals of High Power Impulse Magnetron Sputtering”, Linkoping Studies in Science and Technology Dissertation No.1014, pp. 41-52(2005)
• A. N. Zaidel‘, V. K. Prokof’ev, S. M. Raiskii, V. A. Slavnyi, and E. Ya. Shreider: “TABLES OF SPECTRAL LINES”, pp. 366-367, pp. 698-700,(1970)
• S. Watanabe, T. Tanaka, T. Takagi, K. Yukimura, “Estimation of plasma density in afterglow region of RF burst plasma based on voltage-current characteristics”, Surface and Coatings Technology, 186(2004)53-56

タイトルに関連する用語 (4件)： 対向電極 ,  グロー放電 ,  金属イオン ,  発光スペクトル