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J-GLOBAL ID：200902273171991577   整理番号：07A0474245

二次元GaAs/AlGaAsフォトニック結晶スラブのナノメータスケールの空気孔アレイの精密なドライエッチング制御

Precise control of dry etching for nanometer scale air-hole arrays in two-dimensional GaAs/AlGaAs photonic crystal slabs
著者 (10件)：
IKEDA Naoki

IKEDA Naoki について

(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN について

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IKEDA Naoki

IKEDA Naoki について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN について

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SUGIMOTO Yoshimasa

SUGIMOTO Yoshimasa について

(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN について

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SUGIMOTO Yoshimasa

SUGIMOTO Yoshimasa について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba 305-8568, JPN について

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WATANABE Yoshinori

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(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN について

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OZAKI Nobuhiko

OZAKI Nobuhiko について

(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN について

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TAKATA Yoshiaki

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(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN について

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TANAKA Yu

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(Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi 243-0197, JPN)

Fujitsu Laboratories Ltd., Atsugi 243-0197, JPN について

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INOUE Kuon

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(Chitose Inst. of Sci. and Technol., Chitose 066-8655, JPN)

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ASAKAWA Kiyoshi

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(Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN)

Center for Tsukuba Advanced Res. Alliance, Univ. of Tsukuba, 1-1-1 Tennoudai, Tsukuba 305-8577, JPN について


資料名：
Optics Communications  (Optics Communications)

Optics Communications について


巻： 275  号： 1  ページ： 257-267  発行年： 2007年07月01日 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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GaAs/AlGaAs系二次元フォトニック結晶(2DPC)の...
シソーラス用語：
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*フォトニックバンドギャップ

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圧力依存性

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量子光学一般 
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(BD06010L)

光デバイス一般 について

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(NC03030V)

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アレイ

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ドライエッチング

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