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J-GLOBAL ID：200902275413002959   整理番号：07A0796133

MEMS微細加工プロセスから生じたPb(Zr,Ti)O3薄膜の強誘電特性と圧電特性の劣化

Degradation in the ferroelectric and piezoelectric properties of Pb(Zr,Ti)O3 thin films derived from a MEMS microfabrication process
著者 (5件)：
KOBAYASHI T

KOBAYASHI T について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

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ICHIKI M

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(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

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KONDOU R

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NAKAMURA K

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(Taiyo Yuden Co. Ltd., Gunma, JPN)

Taiyo Yuden Co. Ltd., Gunma, JPN について

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MAEDA R

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(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

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資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)

Journal of Micromechanics and Microengineering について


巻： 17  号： 7  ページ： 1238-1241  発行年： 2007年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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