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J-GLOBAL ID：200902276182132265   整理番号：08A0697136

CVDダイヤモンドモールドを用いた高温下におけるガラスのマイクロ/ナノインプリント

Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold

著者 (7件)： KOMORI M (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  UCHIYAMA H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKEBE H (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  KUSUURA T (TechnoProducer Corp., Kanagawa, JPN) ,  KOBAYASHI K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KUWAHARA H (Res. Inst. for Applied Sci. (RIAS), Kyoto, JPN) ,  TSUCHIYA T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 18  号： 6  ページ： 065013,1-9  発行年： 2008年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVDダイヤモンドモールドを用いた高温下におけるガラスのマイクロ/ナノインプリントについて報告した。ガラスとモールド材料の適切な組み合せを明らかにした。モールド材料として,CVDダイアモンド,ケイ素,ガラス状炭素,および焼結窒化物セラミックス,ガラス材料として,Pyrex,TEMPAX,およびBK7を用いた接着試験を行った。その結果,さまざまな温度条件下で,多様なガラス材料を用いたインプリントには,CVDダイヤモンドが適切であることが分かった。ガラスインプリント物の高さに対する,成形温度,離型温度といったモールド条件の影響を明らかにし,インプリント物の好みの高さを得る適切なモールド条件を開発した。

シソーラス用語： ダイヤモンド ,  化学蒸着 ,  鋳型【鋳造】 ,  *ガラス ,  *押付成形 ,  ガラス成形 ,  接着試験 ,  性質
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  *ナノインプリント ,  離型性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： CVDダイヤモンド ,  モールド ,  ガラス ,  ナノインプリント