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J-GLOBAL ID：200902276472932192   整理番号：08A0137343

最新のエッチング技術とモノづくり 水溶液によるエッチング挙動とその制御要因-銅のウェットエッチングを中心として

著者 (1件)： 松本克才 (東北大 大学院環境科学研究科)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 59  号： 2  ページ： 88-91  発行年： 2008年02月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 銅回路作製法に主に採用されている溶液を用いた化学エッチングを...

シソーラス用語： *エッチング ,...
準シソーラス用語： 化学エッチング ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

引用文献 (21件)：

• 1) 佐藤敏一;金属エッチング技術, (槇書店, 1975).
• 2) H. K. Kuiken ; Proc. R. Soc. Lond, A392, 199 (1984).
• 3) C. H. Driesen, J. G. Kuerten and H. K. Kuiken ; International Journal of Heat and Mass Transfer, 43, 1823 (2000).
• 4) R. C. Alkire and H. Deligianni ; J. Electrochem. Soc., 135, 1093 (1988).
• 5) R. C. Alkire and H. Deligianni ; J. Electrochem. Soc., 137, 2795 (1990).

タイトルに関連する用語 (7件)： エッチング ,  モノづくり ,  水溶液 ,  挙動 ,  要因 ,  銅 ,  ウェットエッチング