文献

J-GLOBAL ID：200902277260047985   整理番号：06A0896385

原子間力顕微鏡用のチップキャラクタライザー

Tip characterizer for atomic force microscopy

著者 (3件)： ITOH Hiroshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, 1-1 Umezono 1-Chome, Tsukuba-shi ...) ,  FUJIMOTO Toshiyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, 1-1 Umezono 1-Chome, Tsukuba-shi ...) ,  ICHIMURA Shingo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, 1-1 Umezono 1-Chome, Tsukuba-shi ...)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 77  号： 10  ページ： 103704-103704-4  発行年： 2006年10月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)用のチップキャラクタライザーを,多層...

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0896385&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0517A") }}

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (1件)： 原子間力顕微鏡