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J-GLOBAL ID：200902278349934337   整理番号：07A0499756

ダイヤモンド旋盤上の原子間力顕微鏡を用いた正弦曲線グリッドの表面輪郭測定

Surface profile measurement of a sinusoidal grid using an atomic force microscope on a diamond turning machine

著者 (4件)： GAO Wei (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  AOKI Jun (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  JU Bing-feng (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  KIYONO Satoshi (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 31  号： 3  ページ： 304-309  発行年： 2007年07月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,ダイヤモンド旋盤上の原子間力顕微鏡(AFM)を用い...

シソーラス用語： *形状測定 ,...

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  旋削,中ぐり  (QC02020G)

引用文献 (23件)：

• JYWE, W. The development and application of a planar encoder measuring system for performance tests of CNC machine tools. Int J Adv Manuf Technol. 2003, 21, 1, 20-28
• TEIMEL, A. Technology and applications of grating interferometers in high-precision measurement. Precision Eng. 1992, 14, 3, 147-154
• KUNZMANN, H. Scales vs laser interferometers, performance and comparison of two measuring systems. Ann CIRP. 1993, 42, 2, 753-767
• HOCKEN, RJ. Dynamics and control of the UNCC/MIT sub-atomic measuring machine. Ann CIRP. 2001, 50, 1, 373-376
• KIYONO, S. An angle-based position detection method for precision machines. JSME Int J. 1999, 42, 1, 44-48

タイトルに関連する用語 (6件)： ダイヤモンド ,  旋盤 ,  原子間力顕微鏡 ,  正弦曲線 ,  グリッド ,  輪郭