犠牲層の無い転写プロセスによるNiカンチレバーの作製

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J-GLOBAL ID：200902281897535123 整理番号：04A0757504

Ni Cantilever Fabrication by Transfer Process without Sacrificial Layer

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資料名：
巻： 16 号： 4 ページ： 211-222 発行年： 2004年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ニッケルカンチレバーを転写プロセスによりガラス基板上に作製し...

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分析機器 , 固体デバイス製造技術一般

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