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J-GLOBAL ID：200902282987103610   整理番号：07A1013488

化学増幅型レジストにおける酸塩基平衡の研究

著者 (4件)： 夏田健一郎 (大阪大 産研) ,  古澤孝弘 (大阪大 産研) ,  岡本一将 (大阪大 産研) ,  田川精一 (大阪大 産研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 2  ページ： 731  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *化学増幅レジスト ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 化学増幅型レジスト ,  酸塩基平衡 ,  研究