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J-GLOBAL ID：200902286099792135   整理番号：03A0758455

集積回路中の電気欠陥を検査するためのレーザテラヘルツ放射顕微鏡

Laser terahertz-emission microscope for inspecting electrical faults in integrated circuits

著者 (4件)： KIWA T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TONOUCHI M (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YAMASHITA M (Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  KAWASE K (Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
資料名： Optics Letters  (Optics Letters)
巻： 28  号： 21  ページ： 2058-2060  発行年： 2003年11月01日 
JST資料番号： H0690A  ISSN： 0146-9592  CODEN： OPLEDP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題のレーザテラヘルツ放射顕微鏡(LTEM)を提案して開発し...

シソーラス用語： *光学顕微鏡法 ,...
準シソーラス用語： レーザテラヘルツ放射顕微鏡

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0758455&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0690A") }}

分類 (3件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 集積回路 ,  欠陥 ,  検査 ,  レーザ ,  テラヘルツ放射 ,  顕微鏡