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J-GLOBAL ID：200902291550955780   整理番号：08A1126511

集束イオンビームを用いた電子光学系輪帯瞳用アパーチャの開発

Development of Apertures for Annular Pupil in Electron Optics by Focused Ion Beam

著者 (9件)： 松谷貴臣 (大阪電通大) ,  生田孝 (大阪電通大) ,  藤原誠 (大阪産業大) ,  田中武雄 (大阪産業大) ,  志水一平 (大阪産業振興機構) ,  田屋昌樹 (大阪大 大学院工学研究科) ,  高井義造 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川崎忠寛 (名古屋大) ,  市橋幹雄 (名古屋大)
資料名： プラズマ応用と複合機能材料  (Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻： 16  ページ： 139-140  発行年： 2007年03月 
JST資料番号： L6242A  ISSN： 1340-9557  CODEN： POFZFU  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 焦点深度拡大と無収差像の実現に向けた輪帯照明法と8の字Fourierフィルタリング画像処理法を組み合わせた走査電子顕微鏡の開発を目的に輪帯照明用アパーチャ開発を行った。特にCADシステムとコンピュータ制御電子光学系を融合した集束イオンビーム(FIB)装置を用いて,加工精度の高い輪帯照明用アパーチャを試作し評価した。イオン源はGa⁺イオン,加工時の加速電圧30kV,アパーチャ材料はTa(99.95%,30μm厚)である。外径と内径の比を80%に設定し,保持橋は120度間隔3点とした。結果,外径Φ80μmとΦ40μmの電子光学系用輪帯照明用アパーチャが誤差2%以下の真円度で開発できた。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *焦点深度 ,  *収差補正 ,  人工照明 ,  フィルタリング ,  Fourier変換 ,  画像処理 ,  アパーチャ補正 ,  *開口部 ,  *工作精度 ,  集束イオンビーム ,  材料 ,  タンタル ,  電子光学 ,  円環
準シソーラス用語： *加工精度 ,  人工照明法

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 集束イオンビーム ,  電子光学 ,  輪 ,  瞳 ,  アパーチャ ,  開発