特許

J-GLOBAL ID：200903000022640173

深紫外レーザー光の発生方法および深紫外レーザー装置

発明者： 金田 有史 ,  浦田 佳治 ,  和田 智之
出願人/特許権者： 株式会社メガオプト
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-271429
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086108
出願日： 2005年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】深紫外域の波長の深紫外レーザー光を効率よく発生させ、高出力化する。【解決手段】1μm帯の波長のレーザー光の第4高調波を発生し、上記第4高調波と1.4〜1.5μm帯の波長のレーザー光との和周波発生によりレーザー光を発生し、上記和周波発生により発生したレーザー光と上記1.4〜1.5μm帯の波長のレーザー光との和周波発生により波長が200nm以下のレーザー光を発生する深紫外レーザー光の発生方法において、上記1μm帯とは1063〜1065nmであり、上記1.4〜1.5μm帯とは1410〜1424nmであって、波長が200nm以下のレーザー光として波長193.3〜193.5nmのレーザー光を発生する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

1μm帯の波長のレーザー光の第4高調波を発生し、前記第4高調波と1.4μm帯の波長のレーザー光との和周波発生によりレーザー光を発生し、前記和周波発生により発生したレーザー光と前記1.4μm帯の波長のレーザー光との和周波発生により波長が200nm以下のレーザー光を発生する深紫外レーザー光の発生方法において、 前記1μm帯とは1063〜1065nmであり、前記1.4μm帯とは1410〜1424nmであって、波長が200nm以下のレーザー光として波長193.3〜193.5nmのレーザー光を発生する ことを特徴とする深紫外レーザー光の発生方法。

IPC (2件)：

G02F 1/37 ,  H01S 3/109

FI (2件)：

G02F1/37 ,  H01S3/109

Fターム (14件)：

2K002AB12 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002HA20 ,  5F172AE13 ,  5F172AF03 ,  5F172AM08 ,  5F172EE13 ,  5F172NQ64 ,  5F172NR22 ,  5F172NR24 ,  5F172ZZ01 ,  5F172ZZ02

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-315087   出願人：株式会社ニコン
• 光源装置及び光照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-189435   出願人：株式会社ニコン
• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-258126   出願人：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社
• レーザ光発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-153636   出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (3件)

• 光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-315087   出願人：株式会社ニコン
• 光源装置及び光照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-189435   出願人：株式会社ニコン
• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-258126   出願人：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• レーザ工学入門, 19970801, pp.220-222