特許

J-GLOBAL ID：200903005758293111

光源装置及び光照射装置

発明者： 徳久 章 ,  北野 博史 ,  河井 斉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-189435
公開番号（公開出願番号）：特開2004-086193
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】波長変換の効率を向上して、出力する光の波長の狭帯域化を図る。【解決手段】非線形光学結晶183Dでは、数段階の波長変換(非線形光学結晶183A〜183Cにおける波長変換)を経て出力レベルが減衰した基本波でなく、他の光増幅器1612から得られた基本波を用いて各段階の波長変換を実行することができる。そのため、波長の変換効率が向上し、光増幅器1611、1612のピークパワーを抑制することができ、光増幅器1611、1612から出力される光の波長をさらに狭帯域化することができる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

所定波長の光を発生させる光源装置であって、 前記所定波長とは異なる波長の光を出力する複数の光出力装置と; 前記複数の光出力装置のうちの異なる光出力装置各々から出力された光を基本波とする2つの光を入射光とする波長変換を含む複数段階の波長変換により前記所定波長の光を発生させる波長変換器と;を備える光源装置。

IPC (4件)：

G02F1/37 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01S3/06

FI (4件)：

G02F1/37 ,  G03F7/20 502 ,  H01S3/06 B ,  H01L21/30 515B

Fターム (31件)：

2H097AA03 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097BB02 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002CA04 ,  2K002EA30 ,  2K002GA07 ,  2K002HA20 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CA10 ,  5F072AB07 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ13 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072YY01 ,  5F072YY09 ,  5F072YY20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ光発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-212080   出願人：ソニー株式会社
• レーザ光発生方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-052271   出願人：ソニー株式会社
• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-258126   出願人：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社