特許
J-GLOBAL ID：200903078600265177

レーザ装置

発明者：
大槻 朋子

大槻 朋子 について

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並木 周

並木 周 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について

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古河電気工業株式会社

古河電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258126
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085771
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 小型化でメンテナンスが容易であると共に、レーザ光の照射を開始する際に光サージによって出力が変動しないレーザ装置を提供する。【解決手段】 単一波長発振レーザ11からのレーザ光LB1を光変調素子12を介して光ファイバー増幅器13に供給し、ここで増幅されたレーザ光をスプリッタ14,16-1〜16-m等を介して分岐して、光増幅ユニット18-1〜18-nを用いて増幅して光ファイバー・バンドル19に束ねた後、波長変換部20によって紫外光のレーザ光LB5に変換する。紫外光を出力する期間では、光変調素子12からパルス光を出力し、紫外光を出力しない期間においても、光変調素子12から紫外光を出力する期間と平均出力がほぼ同じでピークレベルがかなり低いレーザ光を出力する。
請求項（抜粋）：
紫外光を発生するレーザ装置であって、赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生するレーザ光発生部と、該レーザ光発生部から発生されるレーザ光の変調を行う光変調部と、該光変調部から発生されたレーザ光を増幅する光ファイバー増幅器を有する光増幅部と、該光増幅部によって増幅されたレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部とを備え、前記光変調部は、前記紫外光を出力する期間中は前記レーザ光発生部からのレーザ光をパルス変調して前記光増幅部に供給し、前記紫外光を出力しない期間中にも前記紫外光の出力に実質的に影響を与えない範囲で前記光増幅部に増幅可能な波長域の光を供給することを特徴とするレーザ装置。
IPC (9件)：
H01S 3/10 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/23
FI (10件)：
H01S 3/10 A ,  B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 C ,  B23K 26/08 K ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/23 ,  H01L 21/30 515 B
Fターム (49件)：
2H079AA02 ,  2H079AA13 ,  2H079BA01 ,  2H079CA24 ,  2H079HA04 ,  2H079KA18 ,  2H097BB01 ,  2H097BB02 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002BA03 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA04 ,  4E068CB01 ,  4E068CD03 ,  4E068CD08 ,  4E068CK01 ,  5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046DA26 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ01 ,  5F072JJ04 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM04 ,  5F072MM20 ,  5F072PP07 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072TT05 ,  5F072TT16 ,  5F072TT28 ,  5F072YY09
引用特許：
審査官引用 (18件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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