グラファイトシートおよびグラファイトシートを用いた放熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松村修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-350687
公開番号（公開出願番号）：特開2002-284514
出願日： 2001年11月15日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】熱伝導に優れ、半導体素子等の放熱装置に用い好適なグラファイトシートを提供すること。【解決手段】グラファイトシート10の表面の所定の位置に多数の筋11を互いに平行に形成する。

請求項（抜粋）：

シート状をなすグラファイトシートにおいて、その表面に所定の方向に延びる筋を形成したことを特徴とするグラファイトシート。

IPC (2件)：

C01B 31/04 101 , H01L 23/373

FI (2件)：

C01B 31/04 101 Z , H01L 23/36 M

Fターム (7件)：

4G046EA03 , 4G046EB02 , 4G046EC03 , 4G046EC05 , 5F036AA01 , 5F036BB21 , 5F036BD11

引用特許：

審査官引用 (20件)

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