特許

J-GLOBAL ID：200903000207497270

ワイヤソ-のワ-クプレ-ト及びそのワ-クプレ-トを使用した被加工物切断方法

発明者： 高井 望 ,  山本 清二 ,  吉田 裕一 ,  三浦 晃
出願人/特許権者： 株式会社東京精密 ,  ニッテツ電子株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134681
公開番号（公開出願番号）：特開2000-108009
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】熱変形を抑制することができるワイヤソーのワークプレートを提供すること。【解決手段】インゴット32を保持するワークプレート42をインバーで形成する。インバーは、低熱膨張材料であるので、温度が上昇しても大きく熱変形することはない。これにより、インゴットの切断精度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し当てることにより該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、被加工物を保持するワークプレートを、低熱膨張材料を用いて形成したことを特徴とするワイヤソーのワークプレート。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04

FI (2件)：

B24B 27/06 F ,  B28D 5/04 C

Fターム (15件)：

3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB05 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB02 ,  3C069CA04 ,  3C069CB01 ,  3C069EA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• マルチワイヤソー用多溝ローラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-061102   出願人：住友金属工業株式会社
• 磁気ヘッド用基板材料を切断加工するための治具用材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-089522   出願人：ティーディーケイ株式会社
• シリコンインゴットのスライス台
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-235446   出願人：太平洋セメント株式会社
• シリコンスライス台
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-261979   出願人：太平洋セメント株式会社