特許
J-GLOBAL ID：200903000280481535

プラズマ処理装置の表面異物検出装置および検出方法

発明者：
山本 秀之

山本 秀之 について

, 
榎並 弘充

榎並 弘充 について

, 
古瀬 宗雄

古瀬 宗雄 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 鈴木 市郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-227887
公開番号（公開出願番号）：特開2007-040928
出願日： 2005年08月05日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：
【課題】 測定対象表面に含まれる異物を正確に吸引抽出して測定することのできるプラズマ処理装置の表面異物検出技術を提供する。【解決手段】 所定圧力のガスを測定対象物表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口2、および該ガスの吹き出し口から吹き出したガスにより放出された異物を吸引するガスの吸引口3を備えた測定子1と、前記ガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプを備え、該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタ6と、前記ガスの吹き出し口に所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニット4を備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定圧力のガスを測定対象物表面に断続して吹き付けるガスの吹き出し口、および該ガスの吹き出し口から吹き出したガスにより放出された異物を吸引するガスの吸引口を備えた測定子と、 前記ガスの吸引口から一定量のガスを連続して吸引する吸引ポンプを備え、該吸引ポンプで吸引したガスに含まれる異物の数を計数するパーティクルカウンタと、 前記ガスの吹き出し口に所定圧力のガスを断続して供給する圧力調整ユニットを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置の表面異物検出装置。
IPC (3件)：
G01N 1/02 ,  H01L 21/306 ,  G01N 15/14
FI (3件)：
G01N1/02 A ,  H01L21/302 101M ,  G01N15/14 A
Fターム (15件)：
2G052AA04 ,  2G052AC28 ,  2G052AD15 ,  2G052AD22 ,  2G052AD55 ,  2G052BA14 ,  2G052BA21 ,  2G052CA04 ,  2G052CA11 ,  2G052CA38 ,  2G052GA09 ,  2G052JA09 ,  5F004AA13 ,  5F004BB28 ,  5F004BC08
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM