弾性表面波装置の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-065428
公開番号（公開出願番号）：特開平8-265078
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】弾性表面波装置のAlまたはAl合金電極を塩素系ガスプラズマでエッチング加工する場合の電極の腐食防止の方法として、エッチングに連続してアッシングを行った後の水洗で腐食を防止する。【構成】塩素系ガスのプラズマエッチングにより、弾性表面波装置のAlまたはAl合金電極を形成する工程、レジストアッシングする工程と、前記レジストアッシング後に、基板を脱酸素処理を行った超純水で洗浄する工程において、超純水の脱酸素処理を、N2ガスバブリングによって行う。また、エッチング/アッシング後に基板を高真空チャンバから大気中に取り出した後、1分間以内に洗浄工程で洗浄する。また、基板を高真空チャンバから大気中に取り出して洗浄工程で洗浄するまでの大気中雰囲気を、相対湿度30%以下とする。また、Al合金電極を、0.5乃至2.0wt%のCuを含むAl-Cu合金にする。

請求項（抜粋）：

塩素系ガスのプラズマエッチングにより、弾性表面波装置のAlまたはAl合金電極を形成する工程と、レジストアッシングする工程と、前記レジストアッシング後に、基板を脱酸素処理を行った超純水で洗浄する工程とを含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 3/08 , H01L 21/28 , H01L 21/3065 , H01L 21/304 341

FI (4件)：

H03H 3/08 , H01L 21/28 F , H01L 21/304 341 L , H01L 21/302 N

引用特許：

審査官引用 (7件)

弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-208787 出願人：株式会社日立製作所
弾性表面波装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-118534 出願人：株式会社日鉱共石
特開平2-312308

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