特許
J-GLOBAL ID:200903000329226862
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三好 秀和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-289694
公開番号(公開出願番号):特開2001-174991
出願日: 2000年09月25日
公開日(公表日): 2001年06月29日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 剥離時間が短く、密着性及び解像度が優れる感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に炭素数2又は3のアルキレンオキサイド基を有し、少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物より形成した感光性エレメント、この感光性エレメントを、回路形成用基板上に積層し、活性光線を画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを特徴とするレジストパターンの製造法並びにレジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に炭素数2又は3のアルキレンオキサイド基を有し、少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であり、前記(B)成分として(B1)炭素数2又は3のアルキレンオキサイド基としてエチレンオキサイド基のみを有する化合物及び(B2)炭素数2又は3のアルキレンオキサイド基としてプロピレンオキサイド基のみを有する化合物を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (10件):
G03F 7/027 502
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F291/00
, C08F299/02
, G03F 7/004 512
, G03F 7/031
, G03F 7/033
, H05K 3/06
, H05K 3/18
FI (10件):
G03F 7/027 502
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F291/00
, C08F299/02
, G03F 7/004 512
, G03F 7/031
, G03F 7/033
, H05K 3/06 H
, H05K 3/18 D
引用特許:
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