特許
J-GLOBAL ID：200903000464981654

ガラス基板、光学素子基板の基板接合方法と該接合方法に用いるジグ、およびこれらによって形成されたガラス基板、光学素子、並びに該光学素子を有する露光装置、デバイス製造方法

発明者：
小楠 誠

小楠 誠 について

, 
千葉 啓子

千葉 啓子 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-113907
公開番号（公開出願番号）：特開2001-302287
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】低い設備コストによって歩留まりがきわめて良好なガラス基板、光学素子基板の基板接合方法と該接合方法に用いるジグ(治具)、およびこれらによって形成されたガラス基板、光学素子、並びに該光学素子を有する露光装置、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】互いに接合すべき基板の表面を洗浄工程で洗浄した後、該基板同士を接合工程で接合するガラス基板、光学素子基板の基板接合方法において、前記洗浄工程から前記接合工程での接合開始までの間、前記接合すべき基板の表面を一定の間隔で対向させて保持し、前記基板同士を接合するように構成する。
請求項（抜粋）：
互いに接合すべき基板の表面を洗浄工程で洗浄した後、該基板同士を接合工程で接合するガラス基板、光学素子基板の基板接合方法において、前記洗浄工程から前記接合工程での接合開始までの間、前記接合すべき基板の表面を一定の間隔で対向させて保持する基板保持工程を有することを特徴とする基板接合方法。
IPC (2件)：
C03C 27/06 101 ,  G03F 7/20 521
FI (2件)：
C03C 27/06 101 Z ,  G03F 7/20 521
Fターム (16件)：
4G061AA02 ,  4G061AA13 ,  4G061AA18 ,  4G061BA05 ,  4G061BA07 ,  4G061BA12 ,  4G061CA01 ,  4G061CA02 ,  4G061CD02 ,  4G061CD03 ,  4G061DA01 ,  4G061DA05 ,  4G061DA09 ,  4G061DA10 ,  4G061DA23 ,  4G061DA62
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-265144   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-105632   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • SOI構造の形成方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-313702   出願人：ソニー株式会社

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