電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-097508
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303671
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】本発明は、有機EL表示装置等の電気光学装置の製造方法に関し、大型基板に容易に対応できるように、有機物である電気光学層と無機物である電極との間の密着性を高める層を蒸着に依らずに形成することを目的とする。【解決手段】基板20上に第1の電極23,電気光学層60,第2の電極50が積層されてなる電気光学装置1を製造する方法において、有機物である電気光学層60を第1の電極23の上に形成した後、この電気光学層60の表面を窒素プラズマ処理により改質し、この改質膜30の上に無機物である第2の電極50を形成する。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

基板上に第1の電極を形成する工程と、上記第1の電極の上に電気光学層を形成する工程と、窒素プラズマ処理により上記電気光学層の表面改質を行なう工程と、上記電気光学層の上に第2の電極を形成する工程とを備えたことを特徴とする、電気光学装置の製造方法。

IPC (5件)：

H05B33/10 , H05B33/04 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22

FI (5件)：

H05B33/10 , H05B33/04 , H05B33/12 B , H05B33/14 A , H05B33/22 Z

Fターム (9件)：

3K007AB11 , 3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007AB15 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 3K007FA02

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭62-170189
特開平4-032193
電界発光素子の電極作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287255 出願人：テイーデイーケイ株式会社

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