フォーカスサーボ方式及び光ディスク原盤露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松山允之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089558
公開番号（公開出願番号）：特開2002-288853
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】色収差を有する対物レンズの原盤追従動作によるフォーカス誤差信号へのオフセット誤差影響を補償し、記録光にとってのフォーカス誤差精度を十分なレベルにする装置構成を提供することを目的とする。【解決手段】対物レンズの工夫をして、対物レンズ駆動系の変位を高精度に計測できるようにし、得られた変位を元に真のフォーカス誤差を推定するFEシフト補正器を設け、記録光にとってのフォーカス誤差が生じない補助光でのフォーカスサーボサーボ系を構成する。また、センサレスに同様のフォーカスサーボができる推定手段を設けることもできる。

請求項（抜粋）：

第1の波長を有する第1の光と、前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する第2の光とを対物レンズを介して被照射体の被照射面に入射し、前記被照射面からの前記第2の光の戻り光により得られるフォーカス誤差情報に基づいて前記対物レンズを変位させるフォーカスサーボ方式であって、色収差を有する前記対物レンズを前記変位させることにより生ずる前記第1及び第2の光の合焦条件のずれを考慮して前記フォーカス誤差情報を補正することにより、前記第1の光が前記被照射面において合焦するように前記対物レンズの前記変位を制御することを特徴とするフォーカスサーボ方式。

IPC (2件)：

G11B 7/09 , G11B 7/26 501

FI (2件)：

G11B 7/09 B , G11B 7/26 501

Fターム (24件)：

5D118AA13 , 5D118AA18 , 5D118AA21 , 5D118BA01 , 5D118BB09 , 5D118BF03 , 5D118CA08 , 5D118CA11 , 5D118CC12 , 5D118CD02 , 5D118CD11 , 5D118CD18 , 5D118CF27 , 5D118CG03 , 5D118CG07 , 5D118CG15 , 5D118CG26 , 5D118CG32 , 5D118DA33 , 5D118DC03 , 5D121AA02 , 5D121BB26 , 5D121BB38 , 5D121BB40

引用特許：

審査官引用 (5件)

原盤露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-157418 出願人：株式会社日立製作所, 日立マクセル株式会社
光学式記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-277954 出願人：オムロン株式会社
特開昭61-045429

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