特許
J-GLOBAL ID：200903000629573360

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者：
釼持 友規

釼持 友規 について

, 
平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154356
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 低膜減り性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部とノボラック型フェノール樹脂0.01〜20重量部とからなるポジ型感光性樹脂組成物である。【化20】
請求項（抜粋）：
一般式(1)で示されるポリアミド100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部とフェノール樹脂0.01〜20重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
IPC (4件)：
G03F 7/037 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/037 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (17件)：
2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB24 ,  2H025CB26 ,  2H025CB28 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CC042 ,  4J002CL061 ,  4J002EV246 ,  4J002EV286 ,  4J002GP03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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