特許
J-GLOBAL ID：200903000714159246
基板載置台
出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社
大日本スクリーン製造株式会社 について
代理人 (1件)： 川崎 実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241803
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068537
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】基板が正規の位置に保持されていないことを確実に検出できる基板載置台を提供する。【解決手段】基板載置台50は、基板Wの周方向に間隔を開けて配置された3つの基板保持ブロック51,52,53を有する。基板保持ブロック51,52,53は、基板Wの下面の周縁部を支持する水平な基板支持部Sと、この基板支持部Sから垂直に立ち上がり、基板Wの端面を規制する立ち上がり部Uと、この立ち上がり部Uから基板Wの半径方向外方に向かって斜めに立ち上がったテーパー面Taを有する基板落とし込み部Tとを有している。ビームセンサ80,90の投光部81,91および受光部91,92が基板保持ブロック51,52,53に設けられており、これらの光軸L1,L2は、テーパー面Taをその上端付近で横切る水平面に沿っており、かつ、基板Wの内方の領域で交わっている。
請求項（抜粋）：
基板の下面に接触して基板をほぼ水平な姿勢に支持するための基板支持部材と、前記基板支持部材よりも上方に設けられ、前記基板支持部材に向けて基板を落とし込むテーパー面を有する基板落とし込み部材と、前記テーパー面を横切るほぼ水平な平面内で光軸が互いに交わるように配置された複数のビームセンサとを含むことを特徴とする基板載置台。
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA07
, 5F031GA47
, 5F031HA07
, 5F031HA24
, 5F031JA05
, 5F031JA17
, 5F031JA27
, 5F031JA28
, 5F031JA30
, 5F031MA23
, 5F031NA02
, 5F031NA04
引用特許：
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