特許
J-GLOBAL ID：200903000715575871
イオン注入条件の管理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-322213
公開番号（公開出願番号）：特開2009-147072
出願日： 2007年12月13日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：
【課題】イオン注入が用いられるシリコンウエーハ製造プロセスやデバイス製造プロセスにおいて、イオン注入工程におけるイオン注入条件を精度よく管理することを目的とする。【解決手段】イオン注入層を有するシリコンウエーハのロッキングカーブの低角度側(高角度側)の角度範囲の回折強度を、リファレンスウエーハと比較して回折強度の変化量または変化率とイオン注入条件との相関関係を予め求めておき、製品製造プロセスのイオン注入工程において元素がイオン注入された測定用ウエーハのロッキングカーブの低角度側(高角度側)の角度範囲の回折強度を、リファレンスウエーハと比較することによって回折強度の変化量または変化率を求め、予め求めた前記相関関係に基づいて、イオン注入条件を評価することによって、前記イオン注入工程におけるイオン注入条件を管理することを特徴とするイオン注入条件の管理方法。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
少なくとも、イオン注入工程を含むシリコンウエーハ製造プロセスまたはデバイス製造プロセスのイオン注入工程におけるイオン注入条件の管理方法であって、所定の元素がイオン注入されたイオン注入層を有するシリコンウエーハのイオン注入が行われた表面側から、X線回折法を用いてロッキングカーブを測定し、該ロッキングカーブのピーク位置から該ピーク位置よりも低角度側の角度範囲の回折強度を、該角度範囲と同一の角度範囲におけるイオン注入が行われていないリファレンスウエーハのロッキングカーブの回折強度と比較することによって回折強度の変化量または変化率を求め、該変化量または変化率と前記イオン注入のイオン注入条件との相関関係を予め求めておき、その後、実際に製品を製造する際に、該製品製造プロセスのイオン注入工程において元素がイオン注入されたウエーハを測定用ウエーハとし、該測定用ウエーハのイオン注入が行われた表面側から、X線回折法を用いてロッキングカーブを測定し、該ロッキングカーブのピーク位置から該ピーク位置よりも低角度側の角度範囲の回折強度を、該角度範囲と同一の角度範囲におけるイオン注入が行われていないリファレンスウエーハのロッキングカーブの回折強度と比較することによって回折強度の変化量または変化率を求め、前記測定用ウエーハの回折強度の変化量または変化率から、予め求めた前記相関関係に基づいて、前記測定用ウエーハに行われたイオン注入のイオン注入条件を評価することによって、前記イオン注入工程におけるイオン注入条件を管理することを特徴とするイオン注入条件の管理方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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